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真空是一個(gè)無(wú)任何物質(zhì)的空間，例如在真空中沒(méi)有空氣也沒(méi)有任何其它氣體。
根據(jù)真空的純度，通常將真空分為低真空、中等真空、高真空或超高真空。
真空技術(shù)在許多現(xiàn)代化生產(chǎn)過(guò)程和科研工作中發(fā)揮著重要作用。因此，真空技術(shù)是電子、薄膜技術(shù)、新材料開發(fā)、生物技術(shù)以及醫(yī)藥和分析技術(shù)*的技術(shù)。
真空應(yīng)用對(duì)零部件有嚴(yán)格的要求，當(dāng)然也影響到定位應(yīng)用的編碼器。海德漢針對(duì)高真空和超高真空應(yīng)用特別設(shè)計(jì)的直線光柵尺能滿足這些要求，真空版的特殊設(shè)計(jì)包括：
• 滿足真空要求的PCB，黏膠和漆料，減少氣體析出
• 通氣的空腔，縮短抽真空時(shí)間
• 耐高溫，支持較高的加熱溫度
• 無(wú)磁鐵材料，提高過(guò)程可靠性
• 超凈車間生產(chǎn)，確保清潔度
真空應(yīng)用對(duì)編碼器的要求
海德漢標(biāo)準(zhǔn)編碼器在有限的溫度范圍內(nèi)適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊的要求。
少量氣體逸出
編碼器用于真空應(yīng)用的前提條件之一是必須盡可能減少氣體的逸出，否則真空室的壓力將顯著升高。在超高真空的應(yīng)用中，所有部件都十分關(guān)鍵。例如，部分塑料件的揮發(fā)性溶劑會(huì)逸出。印刷電路板、黏膠或漆料中都含這類塑料，在超真空應(yīng)用中，必須嚴(yán)格避免使用這些材料。海德漢采用的PCB和黏膠能滿足真空應(yīng)用要求。常用的漆料也用滿足真空應(yīng)用要求的材料取代。在超真空應(yīng)用中，必須盡可能減少零部件數(shù)量——接口和脈沖整形電子電路必須在真空室外。為此，海德漢提供配外部接口硬件的編碼器。對(duì)于高真空應(yīng)用，方法之一是將接口硬件安排在真空室內(nèi)。
空腔的正確通風(fēng)
要產(chǎn)生真空，必須排出密閉空間內(nèi)的空氣。達(dá)到要求的低氣壓的時(shí)間被稱為“抽真空時(shí)間”，該時(shí)間必須盡可能短，以使真空系統(tǒng)盡快開始工作。如果空腔中的空氣能很快逸出，就能縮短抽真空的時(shí)間。為此，海德漢編碼器外殼增加了空氣孔數(shù)量，盲孔的螺紋孔被打開，通氣孔與空腔直接貫通。
不能使用鐵磁材料
根據(jù)真空腔中進(jìn)行的操作，編碼器不允許使用部分材料。電子束顯微鏡用于檢查微電子電路，它不允許使用鐵磁材料。為此，海德漢真空應(yīng)用的測(cè)量基準(zhǔn)和讀數(shù)頭均采用非磁性材料制造。只有接口電子電路中有鐵磁材料。為此，海德漢提供多款編碼器，其接口電子電路可在真空環(huán)境之外。
耐高溫
為縮短抽真空時(shí)間和獲得較高真空度，真空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。因此，附著在編碼器外殼上的水分子將被氣化并被快速抽除。為此，真空應(yīng)用的編碼器必須能承受100 °C甚至更高的溫度。
超凈
真空腔中的編碼器必須經(jīng)過(guò)特別清潔處理，保持高清潔度。大多數(shù)潤(rùn)滑脂和潤(rùn)滑油，甚至指印，在真空中都滲出氣體，因此都不允許存在。否則，可能逸出細(xì)小顆?；蚧覊m，例如造成被檢查的微電子電路板損壞或影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。為此，在編碼器生產(chǎn)過(guò)程中和包裝過(guò)程中，全面滿足超凈的特殊要求。海德漢在超凈車間中生產(chǎn)真空應(yīng)用的編碼器。包裝也采用特別的設(shè)計(jì)。編碼器采用雙重包裝，密封前在包裝內(nèi)充入氮?dú)狻?/span>
電氣連接
海德漢編碼器的接頭能方便地穿入真空腔外殼。LIP和LIF系列直線光柵尺需要接口電子電路將信號(hào)轉(zhuǎn)換成1•VPP。該接口在D-sub接頭內(nèi)。接口電子電路直接安裝在高真空應(yīng)用的設(shè)備上。對(duì)于超高真空應(yīng)用，接口電子電路必須在真空腔外。因此，高真空應(yīng)用的LIP和LIF提供兩種版本的電纜。讀數(shù)頭與接口電子電路間的電纜長(zhǎng)度可達(dá)3米。
海德漢真空應(yīng)用的編碼器源自標(biāo)準(zhǔn)編碼器，是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)編碼器進(jìn)行相應(yīng)改造。然而，只有原有的掃描原理、光電和光學(xué)器件保持不變。外殼、PCB、黏膠和漆料都進(jìn)行了調(diào)整，以滿足真空度要求。
海德漢真空應(yīng)用的編碼器的特殊措施包括：
• 無(wú)磁性材料（除LED外殼之外）
• 激光刻字，無(wú)標(biāo)簽
• 通氣孔
• 特殊涂裝
• 在超凈車間中生產(chǎn)
• 特殊的清潔和包裝
• PTFE絕緣和鍍銀銅絲編織線電纜
